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黑斑粉尘恶化实验初步计划碱抛后恶化结果退火后恶化结果退火后恶化结果工序序粉尘位置背膜后外观印刷后外观EL背膜后外观印刷后外观EL正膜后外观印刷后外观EL号碱抛1碱抛机内机械臂对应位置白斑对应位置白斑对应位置黑点/麻点//////2碱抛下料翻转器对应位置白斑对应位置白斑对应位置黑点/麻点//////3碱抛下料自动化内对应位置白斑对应位置白斑对应位置黑点/麻点//////4碱抛慢提拉槽对应位置白斑对应位置白斑对应位置黑点//////退火1中转机械臂对应位置白斑对应位置白斑发散性黑斑无异常无异常发散性黑斑（大）无异常无异常发散性黑斑（大）2顶齿/舟齿轻微白斑外观无异常小黑斑、麻点无异常无异常发散性黑斑（小）无异常无异常发散性黑斑（小）3花篮托盘处轻微白斑外观无异常发散性黑斑轻微暗斑轻微暗斑发散性黑斑（大）轻微暗斑轻微暗斑发散性黑斑（大）4石英舟托盘皮带无异常外观无异常小黑斑、麻点对应位置暗斑对应位置暗斑发散性黑斑（小）对应位置暗斑对应位置暗斑发散性黑斑（小）5下料扬尘白斑轻微白斑小黑斑、麻点白斑白斑发散性黑斑（小）白斑白斑发散性黑斑（小）背膜1石墨舟///无异常无异常对应位置黑点/麻点无异常无异常对应位置黑点/麻点2石墨舟冷却台///无异常无异常对应位置黑点/麻点无异常无异常对应位置黑点/麻点3石墨舟皮带///无异常无异常发散性黑斑（小）无异常无异常发散性黑斑（小）正膜1石墨舟托//////无异常无异常2石墨舟冷却台//////无异常无异常3主机台石墨舟皮带//////对应位置暗斑无异常对应位置黑点4自动化上料皮带//////轻微黄斑无异常对应位置黑点/麻点5车间扬尘//////轻微白点无异常对应位置麻点注：1、背膜后粉尘恶化验证结果：背膜机台中各类粉尘均未造成外观及EL不良；

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